臭氧用于水處理，主要配置臭氧溶于水的投加裝置，一般分為曝氣式（直接曝氣或氧化塔式）、文丘里射流器式、旋渦負吸式或HICHINE泵混合式樣等幾種，以上其溶于水效率可依次提高，HICHINE泵式效率可達95%以上。

1）曝氣式：自來水、養殖水、生產循環水、生活污水、工業廢水等。

2）文丘里射流式：二次供水、純凈水、礦泉水、養殖水冷卻、游泳池水等。

3）負吸式：小水體應用。

4）氣液混合泵式：小水體應用或臭氧消毒水應用。